P. Purwanto, Yunasfi, and Salim Mustofa. “Fabrikasi Lapisan Tipis C-Cr Pada Permukaan Si Dengan Menggunakan Metode Sputtering”. Majalah Ilmiah Pengkajian Industri; Journal of Industrial Research and Innovation 8, no. 3 (September 13, 2023): 101–106. Accessed December 22, 2024. https://ejournal.brin.go.id/MIPI/article/view/1507.