P. Purwanto, Yunasfi, Salim Mustofa. Fabrikasi Lapisan Tipis C-Cr pada Permukaan Si dengan Menggunakan Metode Sputtering. Majalah Ilmiah Pengkajian Industri [Internet]. 2023 Sep. 13 [cited 2025 Apr. 8];8(3):101-6. Available from: https://ejournal.brin.go.id/MIPI/article/view/1507