PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASI PLASMA

Abstract

PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASI
PLASMA. Telah dilakukan perhitungan kerapatan ion nitrogren pada pembentukan FeN dalam proses nitridasi
plasma. Perhitungan menggunakan pengandaian derajat ionisasi dalam plasma α = 10-5, dan rumusan kekekalan
muatan dalam penghitungan cacah partikel ion nitrogen serta teori tumbukan ion nitrogen dengan target Fe dalam
proses pembentukan FeN. Hasil perhitungan menunjukkan bahwa untuk tekanan operasi gas nitrogen dengan
jangkau 0,6 sampai 2 torr, maka jangkau kerapatan ion nitrogen adalah 1,6 – 3,5 109 partikel/cm3, dan jangkau rapat
daya 0,2 – 1,6 W/cm2. Sedangkan untuk pembentukan ikatan FeN, diperoleh cacah dari 0 sampai 1,4 105, untuk
jangkau suhu dari 0 sampai sekitar 6 104 K