KAJIAN SIFAT BAHAN LAPISAN TIPIS FEROMAGNETIK NixFe1-x HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK EVAPORASI HAMPA

Abstract

KAJIAN SIFAT BAHAN LAPISAN TIPIS FEROMAGNETIK NiXFe1-X HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK
EVAPORASI HAMPA. Telah dilakukan kajian sifat bahan lapisan tipis feromagnetik NixFe1-x hasil deposisi dengan
teknik evaporasi hampa. Kajian sifat bahan meliputi analisis komposisi bahan menggunakan metode XRF,
resistivitas bahan lapisan tipis pada suhu kamar, dan transisi fase bahan lapisan tipis NixFe1-x. Hasil analisis dengan
metode XRF diketahui bahwa komposisi lapisan yang terbentuk pada permukaan substrat relatif sama dengan
komposisi bulk material yang dievaporasikan. Pengukuran resistivitas dengan metode probe empat titik
menunjukkan bahwa nilai resistivitas tergantung pada ketebalan dan komposisi bahan, serta resistivitas yang
diperoleh jauh lebih besar dibandingkan dengan resistivitas bulk material. Suhu transisi atau suhu Curie Tc yang
diperoleh memperlihatkan ketergantungannya terhadap komposisi bahan