Yunanto et al. 2026. PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-Si DAN Ag. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir. 5, 2 Juli (Mar. 2026), 1–6. DOI:https://doi.org/10.17146/gnd.2002.5.2.213.