Yunanto; Sudjatmoko; Trimardji Atmono; Wirjoadi. PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-Si DAN Ag. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir 2026, 5, 1-6.