Sayono, & Agus Santoso. (2026). PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir, 7(2 Juli), 39–49. https://doi.org/10.17146/gnd.2004.7.2.195