Yunanto, Sudjatmoko, Trimardji Atmono, & Wirjoadi. (2026). PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-Si DAN Ag. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir, 5(2 Juli), 1–6. https://doi.org/10.17146/gnd.2002.5.2.213