SAYONO; AGUS SANTOSO. PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir, [S. l.], v. 7, n. 2 Juli, p. 39–49, 2026. DOI: 10.17146/gnd.2004.7.2.195. Disponível em: https://ejournal.brin.go.id/ganendra/article/view/15783. Acesso em: 12 aug. 2026.