YUNANTO; SUDJATMOKO; TRIMARDJI ATMONO; WIRJOADI. PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-Si DAN Ag. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir, [S. l.], v. 5, n. 2 Juli, p. 1–6, 2026. DOI: 10.17146/gnd.2002.5.2.213. Disponível em: https://ejournal.brin.go.id/ganendra/article/view/15809. Acesso em: 12 aug. 2026.