Yunanto, Sudjatmoko, Trimardji Atmono, and Wirjoadi. 2026. “PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-Si DAN Ag”. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir 5 (2 Juli):1-6. https://doi.org/10.17146/gnd.2002.5.2.213.