Sayono, and Agus Santoso. “PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2”. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir, vol. 7, no. 2 Juli, Mar. 2026, pp. 39-49, doi:10.17146/gnd.2004.7.2.195.