Yunanto, et al. “PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-Si DAN Ag”. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir, vol. 5, no. 2 Juli, Mar. 2026, pp. 1-6, doi:10.17146/gnd.2002.5.2.213.