Widdi Usada. PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASI PLASMA. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir [Internet]. 2026 Mar. 12 [cited 2026 Aug. 13];14(1 Januari):1-8. Available from: https://ejournal.brin.go.id/ganendra/article/view/15709