Sayono, Agus Santoso. PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir [Internet]. 2026 Mar. 12 [cited 2026 Aug. 12];7(2 Juli):39-4. Available from: https://ejournal.brin.go.id/ganendra/article/view/15783