Yunanto, Sudjatmoko, Trimardji Atmono, Wirjoadi. PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-Si DAN Ag. Ganendra: Majalah IPTEK Nuklir [Internet]. 2026 Mar. 13 [cited 2026 Aug. 12];5(2 Juli):1-6. Available from: https://ejournal.brin.go.id/ganendra/article/view/15809