Heri Sutanto et al. 2026. STUDI PENGARUH KONSENTRASI AL PADA STRUKTUR KRISTAL DAN MORFOLOGI FILM TIPIS AlxGa1-xN/Si(111) YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK PA-MOCVD. Jurnal Sains Materi Indonesia. 7, 4 (Oct. 2026), 273–278.