Moh. Toifur. (2003). PENGARUH MEDAN DEPOSISI PADA STRUKTUR MIKRO, RESISTANSI DAN NISBAH MR LAPISAN TIPIS NiemYANG DISIAPKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING. Jurnal Sains Materi Indonesia, 5(1), 18–23. https://doi.org/10.17146/jusami.2003.5.1.5200