A. SUBAGIO; H. SUTANTO; E. SUPRIYANTO; IRZAMAN IRZAMAN; M. BUDIMAN; P. ARIFIN; SUKIRNO SUKIRNO; M. BARMAWI. STUDI STRUKTURMIKRO DAN MORFOLOGI FILM InXGa1-XN YANG DITUMBUHKAN DI ATAS SUBSTRAT SAPPHIRE (0006) DENGAN METODE MOCVD BERBANTUAN PLASMA. Jurnal Sains Materi Indonesia, [S. l.], v. 7, n. 4, p. 263–266, 2026. Disponível em: https://ejournal.brin.go.id/jsmi/article/view/6438. Acesso em: 26 oct. 2026.