MOH. TOIFUR. PENGARUH MEDAN DEPOSISI PADA STRUKTUR MIKRO, RESISTANSI DAN NISBAH MR LAPISAN TIPIS NiemYANG DISIAPKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING. Jurnal Sains Materi Indonesia, [S. l.], v. 5, n. 1, p. 18–23, 2003. DOI: 10.17146/jusami.2003.5.1.5200. Disponível em: https://ejournal.brin.go.id/jsmi/article/view/6812. Acesso em: 15 nov. 2026.