Moh. Toifur. “PENGARUH MEDAN DEPOSISI PADA STRUKTUR MIKRO, RESISTANSI DAN NISBAH MR LAPISAN TIPIS NiemYANG DISIAPKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING”. Jurnal Sains Materi Indonesia 5, no. 1 (October 31, 2003): 18–23. Accessed November 15, 2026. https://ejournal.brin.go.id/jsmi/article/view/6812.