Lizda J. Mawarani, Agus Santoso (Alm.), Agung Budiono, Anang Pribady. KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO. j. sains materi indonesia [Internet]. 2006 Oct. 31 [cited 2026 Nov. 15];8(1):35-9. Available from: https://ejournal.brin.go.id/jsmi/article/view/6290