Dwi Bayuwati, Suryadi Suryadi. PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS OKSIDA TIMAH DENGAN TEKNIK CVD-PENGKABUT ULTRASONIK. j. sains materi indonesia [Internet]. 2026 Oct. 21 [cited 2026 Oct. 26];7(4):192-5. Available from: https://ejournal.brin.go.id/jsmi/article/view/6402