A. Subagio, H. Sutanto, E. Supriyanto, Irzaman Irzaman, M. Budiman, P. Arifin, et al. STUDI STRUKTURMIKRO DAN MORFOLOGI FILM InXGa1-XN YANG DITUMBUHKAN DI ATAS SUBSTRAT SAPPHIRE (0006) DENGAN METODE MOCVD BERBANTUAN PLASMA. j. sains materi indonesia [Internet]. 2026 Oct. 21 [cited 2026 Oct. 26];7(4):263-6. Available from: https://ejournal.brin.go.id/jsmi/article/view/6438