Heri Sutanto, Agus Subagio, Edy Supriyanto, Pepen Arifin, Sukirno Sukirno, Maman Budiman, et al. STUDI PENGARUH KONSENTRASI AL PADA STRUKTUR KRISTAL DAN MORFOLOGI FILM TIPIS AlxGa1-xN/Si(111) YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK PA-MOCVD. j. sains materi indonesia [Internet]. 2026 Oct. 21 [cited 2026 Oct. 26];7(4):273-8. Available from: https://ejournal.brin.go.id/jsmi/article/view/6440