Moh. Toifur. PENGARUH MEDAN DEPOSISI PADA STRUKTUR MIKRO, RESISTANSI DAN NISBAH MR LAPISAN TIPIS NiemYANG DISIAPKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING. j. sains materi indonesia [Internet]. 2003 Oct. 31 [cited 2026 Nov. 15];5(1):18-23. Available from: https://ejournal.brin.go.id/jsmi/article/view/6812