PENGARUH KANDUNGAN Co TERHADAP SIFAT OPTIK FILM TIPIS TiO2-Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE MOCVD

Authors

  • E. Supriyanto Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir (PTBIN)-BATAN Kawasan Puspiptek, Serpong 15314, Tangerang,Program Studi Fisika, FMIPA-ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132 Jurusan Fisika, FMIPA-Universitas Jember Jl. Kalimantan III/24, Jember 68121
  • G. Wiranto Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir (PTBIN)-BATAN Kawasan Puspiptek, Serpong 15314, Tangerang,Program Studi Fisika, FMIPA-ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132 Jurusan Fisika, FMIPA-Universitas Jember Jl. Kalimantan III/24, Jember 68121,Pusat Penelitian Elektronika dan Telekomunikasi (PPET-LIPI), Jl. Sangkuriang, Bandung 40135
  • I. D.P. Hermida Pusat Penelitian Elektronika dan Telekomunikasi (PPET-LIPI), Jl. Sangkuriang, Bandung 40135
  • M. Budiman Program Studi Fisika, FMIPA-ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132
  • P. Arifin Program Studi Fisika, FMIPA-ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132
  • Sukirno Program Studi Fisika, FMIPA-ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132
  • M. Barmawi Program Studi Fisika, FMIPA-ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132

DOI:

https://doi.org/10.17146/jusami.2007.0.0.5148

Keywords:

Band-gap,, Spintronik, Ti1-xCoxO2, MOCVD, Feromagnetik, Indek bias

Abstract

PENGARUH KANDUNGAN Co TERHADAP SIFAT OPTIK FILM TIPIS TiO2-Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE MOCVD. Film tipis TiO2-Co telah ditumbuhkan di atas substrat Si (100) tipe-n dengan metode metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), menggunakan Titanium (IV) isopropoxide (Ti(OCH(CH3)2)4 dan tris (2,2,6,6-tetra methyl-3, 5-heptanedionato) cobalt (III) [Co(TMHD)3), masing-masing dengan kemurnian 99,99% dan 99% sebagai prekursor metal organik. Tetrahydrofuron (THF) digunakan sebagai pelarut bahan prekursor. Sifat optik dari filmtipis TiO2-Co sebagai fungsi dari kandungan Co telah diinvestigasi menggunakan metode spektroskopi reflektansi pada rentang 200 nm hingga 2400 nm. Hasil karakterisasi secara optik menunjukkan bahwa bertambahnya konsentrasi Co akan menurunkan energi band-gap (Eg) dan indek bias (n) dari film tipis TiO2-Co tersebut. Kurva histeresis yang diperoleh melalui pengukuran VSMmemiliki nilai koersivitas dan saturasi magnetik, masing-masing sebesar 100 Oe dan 280 emu/cm3. Sehingga dapat disimpulkan bahwa film tipis yang dihasilkan pada penelitian ini bersifat soft ferromagnetic, yang sangat potensial untuk diaplikasikan dalam teknologi spintronik.

Downloads

Download data is not yet available.

References

[1]. B.T. JONKER, Y.D. PARK, B.R. BENNETT, H.D. CHEONG, G. KIOSEOGLOU and A. PETROU, Phys. Rev. B, 62 (2000) 8180

[2]. I. MALAJOVICH, J.J. BERRY, N. SARMATH, and D.D. AWSCHALOM, Nature, 411 (2001) 770

[3]. M. JOHNSON, Physica E, 10 (2001) 472

[4]. J.A.C. BLAND, A. HIROHATA, C.M. GUERTLER, Y.B. XU, and M. TSELEPI, J. Appl. Phys., 89 (2001) 6740

Downloads

Published

31-10-2007

How to Cite

E. Supriyanto, G. Wiranto, I. D.P. Hermida, M. Budiman, P. Arifin, Sukirno, & M. Barmawi. (2007). PENGARUH KANDUNGAN Co TERHADAP SIFAT OPTIK FILM TIPIS TiO2-Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE MOCVD. Jurnal Sains Materi Indonesia, 8(4), 227–231. https://doi.org/10.17146/jusami.2007.0.0.5148