KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO

Authors

  • Lizda J. Mawarani Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS, Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111
  • Agus Santoso (Alm.) Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan (PTAPB) - BATAN, Jl. Babarsari Kotak Pos 1008, Yogyakarta 55110
  • Agung Budiono Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS, Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111
  • Anang Pribady Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS, Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111

DOI:

https://doi.org/10.17146/jusami.2006.8.1.4816

Keywords:

Sensor gas CO, lapisan tipis SnO2, kestabilan, sensitivitas, selektivitas

Abstract

KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO. Lapisan tipis SnO2 dapat berfungi sebagai sensor gas CO, namun masih kurang stabil terhadap waktu, serta selektivitas dan sensitivitas terhadap gas masih kurang. Untuk memperoleh hasil yang lebih baik dalam penelitian ini metode Sputtering DC digunakan dalam deposisi lapisan tipis SnO2 dengan memvariasi waktu deposisi sputtering, waktu pendinginan pasca sputtering dan suhu operasi sensor (dalam karakterisasi). Diperoleh hasil terbaik untuk sampel dengan waktu deposisi 2 jam dan waktu pendinginan 3 jam, pada suhu operasi 250 oC. Dari penelitian ini dihasilkan sensor dengan kestabilan terhadap waktu yang relatif konstan pada nilai 38,85±4 kΩ. Selektivitas terhadap gas CO juga lebih baik dan sensitivitas memiliki gradian 4,1863(%ΔR)/ppm gas CO

Downloads

Download data is not yet available.

References

. OHRING, M, The Material Science of Thin Film,

Academic Press Inc., NewYork, (1992)

. Drs. SURYADI SU, dkk., Course And Workshop of

Technology and Its Application, Puslitbang

Teknologi Maju BATAN, Yogyakarta, (2004)

. COBOS, JA, Metal Additive Distribution in TiO2

and SnO2

Semiconductor Gas Sensor

Nanostructured, Barcelona, (2001)

. XU, C. TAMAKI, J. MIURA, N. YAMAZOE, Grain

Size Affect on Gas Sensitivity of Porous SnO2

,

Sensor and Actuator B, (1991), 147-155

. FITRIANI, A., Pengaruh Doping Pd dan Au pada

Lapisan Tipis SnO2

terhadapt Sensitivitas Lapisan

Tipis Sebagai Bahan Sensor, Semarang, (2004)

. TULUS, Kajian Fabrikasi Lapisan Tipis (Thin

Film) TiN dengan Metode DC-Reactive

Sputtering Untuk Aplikasi Sensor Gas Amonia

yang Beroperasi Pada Suhu Kamar dengan

Kelembaman Normal, Yogyakarta, (2004)

. NUGROHO, A., Pengaruh Tekanan dan Waktu

Sputtering Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis

SnO2

sebagai Bahan Dasar Sensor Gas, Surakarta,

(2004)

. RAHMASARI, L., Pengaruh Implantasi ion

Platina Terhadap Sensitivitas dan Waktu

Tanggap Serapan Gas pada Lapisan Tipis SnO2

Sebagai Bahan Sensor Gas, Yogyakarta, (2003)

. SCHEMID WOLF, Compsumtion Measurement on

SnO2

Sensor in Low And Normal Oxigen

Concentration, (2004)

. OSCIK, J, Adsorbtion Ellis Horwood Limited

Published, cichester, John Wiley & Son, NewYork,

USA, (1982)

. WASA K., HAYAKAWA S., Handbook of Sputter

Deposition Technology; Principles, Technology

and Application, Noyes Publication, New Jersey,

(1992)

Downloads

Published

31-10-2006

How to Cite

Lizda J. Mawarani, Agus Santoso (Alm.), Agung Budiono, & Anang Pribady. (2006). KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO. Jurnal Sains Materi Indonesia, 8(1), 35–39. https://doi.org/10.17146/jusami.2006.8.1.4816

Issue

Vol. 8 No. 1 (2006): Jurnal Sains dan Materi Indonesia

Section

Articles

License

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-ShareAlike 4.0 International License.