STUDI KEKRISTALAN PbZrxTi1-xO3 YANG DISIAPKAN DENGAN PELAPISAN PUTAR (SPIN COATING)

Authors

  • Muhammad Hikam Jurusan Fisika FMIPA Universitas Indonesia Kampus Baru Depok 16424
  • Irzaman Jurusan Fisika FMIPA Universitas Indonesia Kampus Baru Depok 16424
  • Hanedi Darmasetiawan Jurusan Fisika FMIPA Universitas Indonesia Kampus Baru Depok 16424
  • Teguh Yogaraksa Jurusan Fisika FMIPA Institut Pertanian Bogor J1. Raya Pajajaran Bogor

DOI:

https://doi.org/10.17146/jusami.2002.4.1.4888

Keywords:

PbZrxTi1-xO3, Lapisan tipis, Spin coating, Substrat

Abstract

STUDI KEKRISTALAN PbZrxTi1-xO3 YANG DISIAPKAN DENGAN PELAPISAN PUTAR (SPIN COATING). Telah dibuat lapisan tipis PZT dengan metode pelapisan putar (spin coating), dengan berbagai variasi kecepatan putar, konsentrasi pelarut dan dua macam substrat, Hasil eksperimen menunjukkan peningkatan kecepatan putar (rpm) pada spin coating mengakibatkan degradasi kualitas kristal pada pembentukan lapisan tipis khususnya untuk substrat Pt(200)/Si(100); sedangkan pengenceran larutan tidak berpengaruh pada substrat Si(100) namun meningkatkan orientasi dominan (200) pada substrat Pt(200)/Si(100), Semua lapisan tipis yang terbentuk memiliki sistem kristal tetragonal dengan space group 14mm.

Downloads

Download data is not yet available.

References

-

Downloads

Published

31-10-2002

How to Cite

Muhammad Hikam, Irzaman, Hanedi Darmasetiawan, & Teguh Yogaraksa. (2002). STUDI KEKRISTALAN PbZrxTi1-xO3 YANG DISIAPKAN DENGAN PELAPISAN PUTAR (SPIN COATING). Jurnal Sains Materi Indonesia, 4(1), 16–19. https://doi.org/10.17146/jusami.2002.4.1.4888

Issue

Vol. 4 No. 1 (2002): Jurnal Sains dan Materi Indonesia

Section

Articles

License

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-ShareAlike 4.0 International License.