STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM ZnO HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK SPIN-COATING MELALUI PROSES SOL-GEL

Abstract

STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM ZnO HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK
SPIN-COATING MELALUI PROSES SOL-GEL. Film ZnO telah dibuat pada substrat kaca dengan teknik
deposisi spin coating melalui proses sol-gel. Pembuatan film ZnO dari prekursor zinc acetate dengan laju
putaran 3.000 rpm selama 60 detik di atas pelat spin coater. Film yang diperoleh dikeringkan pada suhu ruang
kemudian dilakukan annealing pada suhu 500 0C selama 3 jam. Hasil XRD menunjukkan bahwa film ZnO yang
terbentuk adalah polikristal wurtzite heksagonal dengan nilai parameter kisi masing-masing adalah a = 3,290 Å
dan c = 5,2531 Å. Ukuran kristal rata-rata ZnO adalah 29,554 nm. Berdasarkan morfologi permukaan hasil foto
SEM menunjukkan film ZnO berbentuk lempengan-lempengan (disks) yang tidak seragam dan tidak beraturan.
Karakterisasi spektroskopi UV-Vis menghasilkan karakteristik optik film ZnO, yaitu spektrum transmitansi
optik dalam rentang panjang gelombang 370 nm sampai dengan 970 nm. Dari data spektrum UV-Vis tersebut
ditentukan lebar celah energi ZnO sebesar 3,2 eV.