PENENTUAN KEHALUSAN LAPISAN TIPIS Ni80Fe20 MELALUI NILAI KAPASITANSI LAPISAN PADA UNTAI TAPIS R-C LOLOS RENDAH

Abstract

PENENTUAN KEHALUSAN LAPISAN TIPIS Ni80Fe20 MELALUI NILAI KAPASITANSI LAPISAN PADA UNTAI TAPIS R-C LOLOS RENDAH. Telah dilakukan penelitian tentang watak kapasitif lapisan tipis Ni80Fe20 hasil deposisi dengan teknik sputtering pada variasi medan deposisi dari 0 G sampai dengan 600 G. Penelitian bertujuan untuk mengetahui tingkat kehalusan lapisan dengan menentukan nilai kapasitor dalam lapisan jika porositas dalam lapisan diperlakukan sebagai kapasitor, serta unjuk kerja lapisan sebagai tapis lolos rendah. Rangkaian terdiri dari tahanan R = 769,9 Ω yang dihubungkan secara seri dengan lapisan dan dipasok tegangan AC dari AFG. Pengamatan watak kapasitif dilakukan pada frekuensi 100 kHz sedangkan pengamatan frekuensi potong dilakukan pada frekuensi 100 kHz sampai dengan 1000 kHz. Tegangan output dan input diamati melalui osiloskop. Dari karakterisasi watak kapasitif menunjukkan bahwa semua lapisan menunjukan watak kapasitif. Sampel hasil deposisi pada Bdep = 300 G memiliki kapasitansi terkecil yaitu 0,09 pF, hal mana menunjukkan lapisan yang paling halus dibanding lapisan yang lain. Lapisan ini dapat menapis frekuensi hingga 253,5 Hz.

ABSTRACT

DETERMINATION OF THE Ni80Fe20 THIN FILM SMOOTHNESS THROUGH THE CAPASITANCE OFFILM IN THE LOW PASSR-CFILTER DEVICE. Capacitive properties of Ni80Fe20 thin film as the result of dc sputtering on the various deposition field (Bdep) from 0 up to 600 G was reached. The aim of the research is to determine the smoothness of film with investigating the capacitance due to film porosities, and the performance of film as low pass filter. Device constitute of the resistor R = 769.9 Ω serially connected with a film. Device was supplied with AC voltage from AFG. Investigating the capacitive properties was done on the 100 kHz frequency, while investigating the cut-off frequency was done in the range of 100 up to 1000 kHz. The output and input voltage were investigated through oscilloscope. From investigating the capacitive properties show that all samples display capacitive properties. The lowest capacitance according to the sample resulted from deposition on the Bdep of 300 G that is 0.09 pF, which is show the smoothest film compared with others. It is can filter the frequencies up to 253.5 Hz.