PENGARUH HOLDINGTIME PROSES ANNEALING TERHADAP STRUKTURMIKRODAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS BARIUM ZIRKONIUM TITANATE
DOI:
https://doi.org/10.17146/jsmi.2014.15.3.4349Keywords:
CSD, BZT, Holding time, Tingkat kekristalan, Ukuran butirAbstract
PENGARUH HOLDINGTIME PROSES ANNEALING TERHADAP STRUKTURMIKRODAN MORFOLOGI LAPISAN TIPIS BARIUM ZIRKONIUM TITANATE. Penumbuhan lapisan tipis Barium Zirconium Titanate (BZT)menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) yang disiapkan dengan spin coater telah berhasil ditumbuhkan di atas substrat Si. Variasi holding time proses annealing dilakukan untuk melihat struktur mikro (tingkat kekristalan) menggunakan X-Ray Diffraction (XRD) dan morfologi (ukuran butir) menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM) dari lapisan tipis BZT. Hasil penelitian menunjukkan bahwa variasi holding timemengakibatkan berubahnya tingkat kekristalan, ketebalan dan ukuran butir lapisan BZT. Tingkat kekristalan makin tinggi seiring dengan bertambahnya holding time yang ditandai dengan makin besarnya intensitas. Tingkat kekristalan tertinggi pada holding time 4 jam yaitu sebesar 80%. Ketebalan lapisan makin tipis seiring dengan bertambahnya holding time. Lapisan tipis BZT dengan holding time 4 jam adalah yang paling tipis yaitu sebesar 570 nm. Ukuran butir bertambah besar seiring dengan bertambahnya holding time karena adanya proses difusi antar butir.
Downloads
References
. Y. Iriani, V.I. Variani,M. Hikam, B. Soegijono,
A. Mustaqin, W. Prasetya. “Analisis Stuktur Kristal
Lapisan Tipis BaZr0,2Ti0,8O3
yang Ditumbuhkan
dengan Metode Sol Gel.” Jurnal Sains Materi
Indonesia, vol.13, no. 1, Mei 2011.
. L. Daocheng, D. Shihua, C. Tao, and S. Tianxiu.
“Ferroelectric Relaxor Behavior of Ba(Ti0.91Zr0.09)O3
Ceramics.”Ferroelectric, vol. 385, pp.169–176,
. J. Zhai, X.Yao, L. Zhang, and B. Shen. “Dielectric
nonlinear characteristics of BaZr0.35Ti0.65O3
thin
ûlms grown by a sol-gel process.”Applied Physics
Letters, vol. 84, pp. 31-36, 2004.
. T. Schneller, S. Halder, R. Waser, C. Pithan,
J. Dornseiffer, Y. Shiratori, L. Houben, N. Vyshnavi
and B. Majumder. “ Nano Composite Thin Films
for Miniatirized Multi Layer Ceramic Capacitors
Prepared from BariumTitanate Nano Particle Based
Hybrid Solution.” J. Mater. Chem., vol. 21, 7953,
. D. Pergolesi, E. Fabbri, A. D’Epifanio, E. Di
Bartolomeo, A. Tebana, S. Sanna, S. Licoccia, G.
Balestrino, E. Travorsa. “High Proton Conduction
in Grain Boudry Free Ytrium Doped Barium Zirconia
Films Growth by Pulsed Laser Deposition.” Nature
Materials, vol. 9, pp. 846-852, 2010.
. T. Ohno, Y. Kamai, Y. Oda, N. Sukamoto, T.
Matsuda. “Strai Engineering Effects on Electrical
Properties of Lead Free Piezoelectric Thin Films on
Si Wafers.” Acta Chim. Slov., vol. 61, pp. 453-456,
. X. Deng, J. Huang, W. Cai, C. Fu, and D. Guo.
“Effect ofAnnealing Temperature on Properties of
Barium Zirconium Titanate Thin Films Deposited
by Sol- Gel Metod.” Integreted Ferrolectric, vol.
, pp. 42-48,2012
. Y. Iriani, V.I. Variani, M. Hikam, B. Soegijono,A.
Mustaqin, W. Prasetya. “Optimalization of
Rotational Speed in the growing of the thin film
using Sol Gelmethod which is prepared with Spin
Coating.” J. Material Sci. Eng.,Vol. 1,No. 4, 2012.
Downloads
Published
How to Cite
Issue
Section
License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-ShareAlike 4.0 International License.
